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MM活动跨越了材料科学和过程开发到设备制造和系统集成,这要归功于不同地点的微型纳米制造设施(清洁室区域总计> 1400 m 2)。最近对研究活动进行了重新组织,并专注于三个主要应用领域:微/纳米电子学,功能材料和设备,光子学。此外,能力和设施将协调为四个主要技术领域,即微/纳米型,表征,理论建模和高级材料的合成,这些材料为应用领域提供了横向支持。
主要关键词